機液伺服閥是將小功率的機械動作轉變為液壓輸出量(流量或壓力)的機液轉換元件。機液伺服閥大都是滑閥式結構，在船舶的舵機、機床的仿形裝置、飛機的助力器上應用最早。電液伺服閥是將電量轉變成液壓輸出量的電液轉換元件，出現于1940年。到50年代，這種元件的結構趨于成熟。隨著電子技術和計算機技術的發展，電液伺服系統的性能得到顯著改善，大大優于其他的液壓伺服系統，因而得到廣泛應用。電液伺服閥的內部結構可分滑閥位置反饋、載荷壓力反饋和載荷流量反饋;閥的級數可分單級、雙級和多級。在電液伺服閥中，將電信號轉變為旋轉或直線運動的部件稱為力矩馬達或力馬達。力矩馬達浸泡在油液中的稱為濕式，不浸泡在油液中的稱為干式。其中以滑閥位置反饋、兩級干式電液伺服閥應用較廣。圖為電液伺服閥的工作原理。力矩馬達在線圈中通入電流后產生扭矩，使彈簧管上的擋板在兩噴嘴間移動，移動的距離和方向隨電流的大小和方向而變化。例如擋板向右移近噴嘴時，就在主閥芯兩端面上產生壓力差推動主閥芯左移，使壓力油口P S與載荷1口相通,回油口與載荷 2口相通。主閥芯左移的同時通過反饋桿對力矩馬達產生的力矩和擋板的位移進行負反饋。因此，主閥芯的位移量就能精確地隨著電流的大小和方向而變化，從而控制通向液壓執行元件的流量和壓力。氣液伺服閥是將氣動量轉變為液壓輸出量的氣液轉換元件。
性能指標:流量(L/min)，最高壓力(MPa)。